Victrex di Sarnico (BG) presenta i nuovi anelli di supporto per CMP per prestazioni superiori. Gli anelli di supporto per CMP che sono localizzati nella testa di lucidatura dei dispositivi di CMP che supportano i wafer e che normalmente sono realizzati tramite saldatura di SUS e PPS, nella versione creata dalla Willbe S&T sono realizzati con un materiale singolo e sono forniti a società globali di semiconduttori “S” e “H” e vengono esportati in Giappone e negli Stati Uniti. Gli anelli offrono alcuni vantaggi come ad esempio l’uso del polimero Victrex Peekm gli impasti usati per la planarizzazione dei wafer si spargono e aderiscono la superficie degli anelli di supporto. Sopra gli anelli di supporto della Willbe, viene fatto un foro a lato (metodo di foratura laterale) e l'acqua distillata viene fatta scorrere all’interno in modo che l'impasto fra le pareti dentro l'anello della membrana possa essere rimosso. Edited by: Valeria Ricci
Anelli di supporto per CMP
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