L’asse piezo per nanoposizionamenti QFOCUS QF-50 di Aerotech è stato progettato per il posizionamento ad alte prestazioni di obiettivi per microscopia e di ottiche. Esso offre una corsa di 400 μm ad anello chiuso e di 450 μm ad anello aperto, un’elevata velocità, una linearità dello 0,01%, una risoluzione subnanometrica e una ripetibilità bidirezionale di 4 nm.
Applicazioni
Oltre a poter alloggiare strumenti ottici, il QF-50 è adatto anche per applicazioni di microlavorazione laser di prossima generazione. Grazie ad una struttura ad elevata rigidità, le prestazioni del QF-50 possono superare quelle di scanner piezo concorrenti grazie ad obiettivi più grandi, ed apertura numerica (NA) più elevata. Il QF-50 è ideale per le applicazioni di posizionamento ottico che richiedano un’elevata precisione e produttività, unite a corse lunghe.
Struttura di precisione
Il QFOCUS QF-50 è guidato da elementi flessibili di precisione ottimizzati tramite l’analisi a elementi finiti per un’eccellente rigidità e frequenza di risonanza, il che consente un’elevata produttività di processo ed una risposta ad anello chiuso molto veloce. Una cura meticolosa è stata dedicata alla progettazione degli elementi flessibili dell’asse QF-50, per assicurare prestazioni geometriche senza rivali con errori di rettilineità fino a 40 nm lungo l’intera corsa.
Feedback a metrologia diretta
Il feedback ad anello chiuso, disponibile come opzione, sfrutta una soluzione unica basata su sensore capacitivo e consente una risoluzione subnanometrica ed un’elevata linearità. A differenza di sensori estensimetrici o piezoresistivi, i sensori capacitivi forniscono una misura diretta del carrello di posizionamento per una precisione e una ripetibilità superiori.
Controllo flessibile e preciso
Accoppiato ai controllori e agli azionamenti serie Q di Aerotech, l’asse QF-50 dimostra una risoluzione di posizionamento e una stabilità di mantenimento della posizione (jitter) subnanometriche, offrendo allo stesso tempo un’elevata ampiezza di banda del posizionamento. Opzioni software avanzate, come il Dynamic Controls Toolbox ed il Motion Designer, offrono una varietà di tool molto efficaci e facili da utilizzare comprendenti Iterative Learning Control, Harmonic Cancellation, e Command Shaping, che consentono tracking errors e tempi di avanzamento e assestamento (step and settle) più contenuti. Sono disponibili azionamenti anche in versioni per OEM.
Flessibilità di montaggio
Il QF-50 è disponibile con adattatori filettati, utili per la maggior parte dei microscopi ed obiettivi. Il montaggio a torretta del microscopio permette un posizionamento rapido e semplice in qualsiasi orientazione desiderata. Inoltre, i fori filettati sul corpo della base permettono un montaggio alternativo per interfacce custom su macchine o altri strumenti ottici. Il QF-50 è disponibile di serie con un’apertura libera di 29 mm. È possibile richiedere versioni customizzate per la base, la corsa e gli adattatori filettati.
